Hoge respons precisie lineaire spreekspoelmotor voor microbewegingsbesturing van halfgeleiders
| Plaats van herkomst | China, Suzhou |
|---|---|
| Merknaam | SUPT MOTION |
| Certificering | ISO9001,CE,3C |
| Modelnummer | VCAB-reeks |
| Min. bestelaantal | 1 stks |
| Prijs | $110-$160 |
| Verpakking Details | Gepersonaliseerde verpakkingen enz. |
| Levertijd | 1-5 stuks, 5 dagen. > 20 stuks, te onderhandelen |
| Betalingscondities | T/T |
| Levering vermogen | te onderhandelen |
Contacteer me voor vrije steekproeven en coupons.
WhatsAPP:0086 18588475571
wechatten: 0086 18588475571
Skypen: sales10@aixton.com
Als u om het even welke zorg hebt, verstrekken wij de online-Help van 24 uur.
x| Garantie | 3 maanden tot 1 jaar | Productmodel | VCAB0262-0112-00A |
|---|---|---|---|
| gewicht ((g) | 285 | Piekkracht (N) | 262 |
| Totale slag (mm) | 11.2 | Maximale spanning (V) | 35.1 |
| Sollicitatie | Automatisch Product | Positioneringsnauwkeurigheid | Hoog |
| Producttype | de lineaire motor van de stemrol | Commutatie | Borstel |
| Continu kracht ((N) | 111N | Type | Compact |
Productbeschrijving:
In halfgeleiderproductieprocessen zoals waferverwerking, lithografie, inspectie en verpakking vereist micro-positioneringscontrole een extreem hoge nauwkeurigheid, snelle reactie,en lange termijn stabiliteitDe lineaire stemspiraalmotoren, met directe aandrijving en uitstekende dynamische prestaties, zijn uitgegroeid tot een ideale activeringsoplossing voor micro-verplaatsingsregeling in halfgeleiderapparatuur.
Lineaire stem spoel motoren genereren stuwkracht rechtstreeks door middel van elektromagnetische kracht, waardoor wrijvingloos,met een vergroting van meer dan 50 W, maar niet meer dan 150 W,In vergelijking met traditionele loodschroeven of servo-aangedreven mechanismen bieden lineaire stemspiraalmotoren een superieure positioneringsnauwkeurigheid en herhaalbaarheid binnen korte slagbereiken.Ze zijn vooral geschikt voor wafer uitlijning, optische scherpstelling, contactcontrole van de sonde en precisie-positioneringsstadia.
In hogesnelheidsscannings- en dynamische compensatie-toepassingen leveren lineaire stemspiraalmotoren een hoge versnelling en een hoge frequentie.een nauwkeurige opsporing van besturingsopdrachten en een effectieve compensatie voor systeemfouten en verstoringen in het milieuHun soepele, laag trillende beweging helpt procesverstoringen bij de fabricage van micro-structuren te minimaliseren en zorgt voor een stabiele procesprestatie.
Kenmerken:
- Resolutie van verplaatsingen op submicron- of nanometerniveau
- Dynamische respons met hoge snelheid en bandbreedte
- Uitzonderlijke herhaalbaarheid en lange termijn stabiliteit
- Nul tegenreactie, lage trillingen en deeltjesvrije beweging
- Compatibiliteit met ISO 4 ̊5 cleanroom-omgevingen
- Geen loodschroeven, tandwielen of tegenreactie
- Geen hysteresis bij verplaatsingsrespons
- Hoge besturingsbandbreedte voor gesloten luspositie, snelheid en krachtcontrole
- Zeer lage trillingen en akoestisch lawaai
Productparameters:
| Productmodel | Piekkracht (N) |
Voortdurende kracht bij 25°C ((N)) |
Totale slag (mm) |
Maximale spanning (V) |
Achterste EMF constante (V/m/s) |
Gewicht van de spoel (g) |
Statordiameter | Einddraad van de as (mm) |
| VCAB0005-0039-00A | 5 | 1.5 | 3 | 5.4 | 0.9 | 23 | 29.5 | M2 (buiten) |
| VCAB0005-0050-00A | 5 | 2.2 | 3.9 | 14.5 | 3.1 | 27 | 31.5 | M2.5 (buiten) |
| VCAB0013-0072-00A | 13 | 4.2 | 7.2 | 26.6 | 5.72 | 16.2 | 26.2 | M3 (buiten) |
| VCAB0015-0062-00A | 15 | 6.5 | 6.2 | 26.2 | 9.75 | 14.8 | 33 | M3 (buiten) |
| VCAB0015-0127-00A | 15 | 4.9 | 12.7 | 21.5 | 4.1 | 12.5 | 30.5 | Schacht ¥4.8 |
| VCAB0022-0098-00A | 22 | 6.6 | 9.8 | 24.7 | 5.8 | 20 | 34.1 | M3 (buiten) |
| VCAB0022-0448-00A | 22 | 11.4 | 44.8 | 14.3 | 4 | 52 | 48 | M3 ((Binnen) |
| VCAB0032-0050-00A | 32 | 8.9 | 5 | 29.3 | 7.1 | 48 | 40 | M3 ((Binnen) |
| VCAB0033-0099-00A | 33 | 8 | 9.9 | 24.3 | 5.87 | 23.5 | 36 | M3 (buiten) |
| VCAB0033-0224-00A | 33 | 13.5 | 22.4 | 26.7 | 6.8 | 69 | 58 | M3 ((Binnen) |
| VCAB0035-0105-00A | 35 | 15.6 | 10.5 | 11.9 | 5 | 91 | 50 | M3 ((Binnen) |
| VCAB0044-0040-00A | 44 | 16.3 | 4 | 18.3 | 8.9 | 46.5 | 53 | M3 ((Binnen) |
| VCAB0044-0059-00A | 44.1 | 17.7 | 5.9 | 14.3 | 8 | 43 | 46 | M3 ((Binnen) |
| VCAB0044-0075-00A | 44 | 13.7 | 7.5 | 16.8 | 7.6 | 38.6 | 31.1 | M3 (buiten) |
| VCAB0044-0249-00A | 44 | 11.7 | 24.9 | 44.9 | 8.88 | 65.9 | 38.1 | M3 ((Binnen) |
| VCAB0070-0149-00A | 70 | 27.3 | 14.9 | 26.9 | 17.7 | 79 | 43 | M3 ((Binnen) |
| VCAB0087-0062-00A | 87 | 21.67 | 6.2 | 34.5 | 12.7 | 45.2 | 43.1 | M3 ((Binnen) |
| VCAB0087-0563-00A | 87 | 17.5 | 56.3 | 63.4 | 8.1 | 177 | 72 | schacht ¥10 |
| VCAB0088-0191-00A | 88.5 | 23.2 | 19.1 | 29.9 | 8 | 162 | 50.8 | M3 ((Binnen) |
| VCAB0105-0164-00A | 105 | 35.4 | 16.1 | 20.1 | 11.5 | 150 | 60.4 | M3 ((Binnen) |
| VCAB0113-0089-00A | 113 | 35 | 8.9 | 31 | 17.5 | 125 | 73 | schacht ¢8 |
| VCAB0262-0112-00A | 262 | 111 | 11.2 | 35.1 | 41 | 285 | 71 | schacht ¥10 |
| VCAB0262-0249-00A | 262 | 112 | 24.9 | 28.2 | 26 | 785 | 66 | schacht ¢8 |
| VCAB0294-0498-00A | 294 | 56.8 | 49.8 | 114 | 24.5 | 685 | 93 | schacht ¥10 |
| VCAB0436-0187-00A | 436 | 147.6 | 18.7 | 40.7 | 40.7 | 648 | 80.4 | schacht ¥10 |
| VCAB0436-0250-00A | 436 | 167 | 25 | 31.6 | 37.2 | 775 | 78.4 | schacht ¥10 |
| VCAB0445-0300-00A | 445 | 185 | 30 | 33 | 35 | 920 | 76.2 | schacht ¥10 |
Toepassingen:
- Afstemming en positioneringsstadia van de wafer
- Lithografie focus en hoogtecompensatie
- Zondstation-Z-as en contactbesturing
- AOI- / AVI-snelle scanner actuatoren
- Micro-assemblage voor het samenvoegen en verpakken met behulp van matrijzen
- Precieze dispenserings- en microdosisystemen
![]()

