Hoge respons precisie lineaire spreekspoelmotor voor microbewegingsbesturing van halfgeleiders

Plaats van herkomst China, Suzhou
Merknaam SUPT MOTION
Certificering ISO9001,CE,3C
Modelnummer VCAB-reeks
Min. bestelaantal 1 stks
Prijs $110-$160
Verpakking Details Gepersonaliseerde verpakkingen enz.
Levertijd 1-5 stuks, 5 dagen. > 20 stuks, te onderhandelen
Betalingscondities T/T
Levering vermogen te onderhandelen

Contacteer me voor vrije steekproeven en coupons.

WhatsAPP:0086 18588475571

wechatten: 0086 18588475571

Skypen: sales10@aixton.com

Als u om het even welke zorg hebt, verstrekken wij de online-Help van 24 uur.

x
Productdetails
Garantie 3 maanden tot 1 jaar Productmodel VCAB0262-0112-00A
gewicht ((g) 285 Piekkracht (N) 262
Totale slag (mm) 11.2 Maximale spanning (V) 35.1
Sollicitatie Automatisch Product Positioneringsnauwkeurigheid Hoog
Producttype de lineaire motor van de stemrol Commutatie Borstel
Continu kracht ((N) 111N Type Compact
Laat een bericht achter
Productomschrijving

Productbeschrijving:

In halfgeleiderproductieprocessen zoals waferverwerking, lithografie, inspectie en verpakking vereist micro-positioneringscontrole een extreem hoge nauwkeurigheid, snelle reactie,en lange termijn stabiliteitDe lineaire stemspiraalmotoren, met directe aandrijving en uitstekende dynamische prestaties, zijn uitgegroeid tot een ideale activeringsoplossing voor micro-verplaatsingsregeling in halfgeleiderapparatuur.

Lineaire stem spoel motoren genereren stuwkracht rechtstreeks door middel van elektromagnetische kracht, waardoor wrijvingloos,met een vergroting van meer dan 50 W, maar niet meer dan 150 W,In vergelijking met traditionele loodschroeven of servo-aangedreven mechanismen bieden lineaire stemspiraalmotoren een superieure positioneringsnauwkeurigheid en herhaalbaarheid binnen korte slagbereiken.Ze zijn vooral geschikt voor wafer uitlijning, optische scherpstelling, contactcontrole van de sonde en precisie-positioneringsstadia.

In hogesnelheidsscannings- en dynamische compensatie-toepassingen leveren lineaire stemspiraalmotoren een hoge versnelling en een hoge frequentie.een nauwkeurige opsporing van besturingsopdrachten en een effectieve compensatie voor systeemfouten en verstoringen in het milieuHun soepele, laag trillende beweging helpt procesverstoringen bij de fabricage van micro-structuren te minimaliseren en zorgt voor een stabiele procesprestatie.

Kenmerken:

  • Resolutie van verplaatsingen op submicron- of nanometerniveau
  • Dynamische respons met hoge snelheid en bandbreedte
  • Uitzonderlijke herhaalbaarheid en lange termijn stabiliteit
  • Nul tegenreactie, lage trillingen en deeltjesvrije beweging
  • Compatibiliteit met ISO 4 ̊5 cleanroom-omgevingen
  • Geen loodschroeven, tandwielen of tegenreactie
  • Geen hysteresis bij verplaatsingsrespons
  • Hoge besturingsbandbreedte voor gesloten luspositie, snelheid en krachtcontrole
  • Zeer lage trillingen en akoestisch lawaai

Hoge respons precisie lineaire spreekspoelmotor voor microbewegingsbesturing van halfgeleiders 0

Productparameters:

Productmodel Piekkracht
(N)
Voortdurende kracht
bij 25°C ((N))
Totale slag
(mm)
Maximale spanning
(V)
Achterste EMF constante
(V/m/s)
Gewicht van de spoel
(g)
Statordiameter Einddraad van de as
(mm)
VCAB0005-0039-00A 5 1.5 3 5.4 0.9 23 29.5 M2 (buiten)
VCAB0005-0050-00A 5 2.2 3.9 14.5 3.1 27 31.5 M2.5 (buiten)
VCAB0013-0072-00A 13 4.2 7.2 26.6 5.72 16.2 26.2 M3 (buiten)
VCAB0015-0062-00A 15 6.5 6.2 26.2 9.75 14.8 33 M3 (buiten)
VCAB0015-0127-00A 15 4.9 12.7 21.5 4.1 12.5 30.5 Schacht ¥4.8
VCAB0022-0098-00A 22 6.6 9.8 24.7 5.8 20 34.1 M3 (buiten)
VCAB0022-0448-00A 22 11.4 44.8 14.3 4 52 48 M3 ((Binnen)
VCAB0032-0050-00A 32 8.9 5 29.3 7.1 48 40 M3 ((Binnen)
VCAB0033-0099-00A 33 8 9.9 24.3 5.87 23.5 36 M3 (buiten)
VCAB0033-0224-00A 33 13.5 22.4 26.7 6.8 69 58 M3 ((Binnen)
VCAB0035-0105-00A 35 15.6 10.5 11.9 5 91 50 M3 ((Binnen)
VCAB0044-0040-00A 44 16.3 4 18.3 8.9 46.5 53 M3 ((Binnen)
VCAB0044-0059-00A 44.1 17.7 5.9 14.3 8 43 46 M3 ((Binnen)
VCAB0044-0075-00A 44 13.7 7.5 16.8 7.6 38.6 31.1 M3 (buiten)
VCAB0044-0249-00A 44 11.7 24.9 44.9 8.88 65.9 38.1 M3 ((Binnen)
VCAB0070-0149-00A 70 27.3 14.9 26.9 17.7 79 43 M3 ((Binnen)
VCAB0087-0062-00A 87 21.67 6.2 34.5 12.7 45.2 43.1 M3 ((Binnen)
VCAB0087-0563-00A 87 17.5 56.3 63.4 8.1 177 72 schacht ¥10
VCAB0088-0191-00A 88.5 23.2 19.1 29.9 8 162 50.8 M3 ((Binnen)
VCAB0105-0164-00A 105 35.4 16.1 20.1 11.5 150 60.4 M3 ((Binnen)
VCAB0113-0089-00A 113 35 8.9 31 17.5 125 73 schacht ¢8
VCAB0262-0112-00A 262 111 11.2 35.1 41 285 71 schacht ¥10
VCAB0262-0249-00A 262 112 24.9 28.2 26 785 66 schacht ¢8
VCAB0294-0498-00A 294 56.8 49.8 114 24.5 685 93 schacht ¥10
VCAB0436-0187-00A 436 147.6 18.7 40.7 40.7 648 80.4 schacht ¥10
VCAB0436-0250-00A 436 167 25 31.6 37.2 775 78.4 schacht ¥10
VCAB0445-0300-00A 445 185 30 33 35 920 76.2 schacht ¥10

 

Toepassingen:

  1. Afstemming en positioneringsstadia van de wafer
  2. Lithografie focus en hoogtecompensatie
  3. Zondstation-Z-as en contactbesturing
  4. AOI- / AVI-snelle scanner actuatoren
  5. Micro-assemblage voor het samenvoegen en verpakken met behulp van matrijzen
  6. Precieze dispenserings- en microdosisystemen

Hoge respons precisie lineaire spreekspoelmotor voor microbewegingsbesturing van halfgeleiders 1