High Response Linear Voice Coil Actuator voor de inspectie van halfgeleiderwafers

Lineaire stemspiraalactuatoren zijn vooral geschikt voor precisieprocessen zoals uitlijning, sorteren en waferbehandeling in halfgeleiderproductielijnen.Hun zero-backlash en hoge herhaalbaarheid zorgen voor zeer nauwkeurige micro-verplaatsingsoperatiesDe wrijvingsloze bewegingsstructuur vergroot de dynamische responsvermogen, waardoor ze ideale actuatoren zijn voor precisie industriële besturingssystemen.

SUPT's asmonterde lineaire stemspiraalmotor, model VCAB0044-0075-00A,heeft een geïntegreerde bewegingsas in combinatie met duurzame lineaire lagers om een uitzonderlijk soepele beweging te garanderen, zelfs onder hoge dynamische belastingenDe interne configuratie omvat een hoge-energie permanente magneet en een lichte bewegende spoel,het bereiken van minimale traagheid en het mogelijk maken van snelle veranderingen in de uitgangskracht, een essentieel kenmerk van hogesnelheids-aandrijvingsapparaten met directe aandrijving.

In tegenstelling tot conventionele schroef- of versnellingsgestuurde systemen wordt bij de VCAB-serie alle mechanische transmissie-elementen uitgesloten.het verlenen van een werkelijke werking zonder terugslag en het verminderen van positiefouten veroorzaakt door slijtage of wrijvingMet een reactievermogen van milliseconden is de motor uitstekend in toepassingen die frequente snelheids aanpassingen vereisen, zoals hogesnelheids sortering, machine-vision-uitlijning,en precisiebeheersstadiaWanneer het geïntegreerd is met gesloten-loop sensing, kan het uitstekende positioneringsnauwkeurigheid en herhaalbaarheid bereiken.