44N uiterst nauwkeurige cilindrische spreekspoelmotoren voor halfgeleiderapparatuur

Productoverzicht

De VCAR0044-0075-00A is een cilindrische spreekspoelmotor die speciaal is ontworpen om een ​​hoge positioneringsnauwkeurigheid te bereiken. Deze spreekspoelmotor wordt aangedreven door een 16,8 V DC-voeding en biedt directe lineaire beweging met een piekkracht van 44 N over een slag van 7,5 mm en bereikt een positioneringsresolutie van 0,5 µm bij gebruik in gesloten lusregeling met een lineaire encoder.
Het contactloze ontwerp met bewegende spoel elimineert speling, tandwielen en hysteresis, waardoor de motor zijn positie kan behouden en herhaaldelijk naar dezelfde locatie kan terugkeren. Het korte, stijve bewegingspad en de lage bewegende massa geven het systeem een ​​hoge mechanische bandbreedte, waardoor de servolus verstoringen kan onderdrukken en snel kan stabiliseren.
Deze spreekspoelmotor is vervaardigd met behulp van nauwkeurig geaarde componenten en een gebalanceerd magnetisch circuit om een ​​lage rimpelkracht te behouden. De nauwkeurig geslepen geleiderailoppervlakken en op elkaar afgestemde magneten houden de krachtrimpeling gedurende de gehele slag onder de 1% van de nominale uitgangswaarde. Het is een ideaal onderdeel voor uitlijnings-, inspectie- of meetapparatuur op micrometerniveau.

Oplossing

Positioneringsfouten in precisieapparatuur zijn doorgaans het gevolg van speling, stick-slip-wrijving, thermische drift en mechanische resonantie. Spreekspoelmotoren elimineren de eerste twee bronnen van fouten volledig: er zijn geen tandwielen of spindels die speling veroorzaken, en het contactloze spoelontwerp betekent dat er geen statische wrijving hoeft te worden overwonnen. De resterende fouten worden gecontroleerd via een gesloten systeem dat een lineaire encoder met hoge resolutie bevat, die directe feedback geeft over de werkelijke positie van de belasting.
Omdat de kracht evenredig is met de stroom, kan het servosysteem precies de juiste hoeveelheid kracht uitoefenen om stapbewegingen van 0,5 micrometer te bereiken of een stabiele positie onder belasting te behouden. Het resultaat is een bewegingsas met precisie op micrometerniveau, vrij van door slijtage veroorzaakte drift en consistente prestaties gedurende miljoenen cycli.
Omdat er geen wrijving is, treden stick-slip-effecten – een veel voorkomende oorzaak van jitter in traditionele trappen – niet op, zelfs niet bij extreem lage snelheden. Voor uitlijnings-, inspectie- en bewerkingstoepassingen verhoogt deze oplossing de doorvoer terwijl uitval en nabewerking worden verminderd.

Specificaties

Sollicitatie

Typische toepassingen: Deze omvatten de uitlijning van halfgeleiderwafels, fotonica en vezeluitlijning, positionering van laserverwerkingskoppen, Z-asfocussering in microscopen, precisiemeetplatforms, maskerinspectie en positionering van medische apparatuur.
Deze spreekspoelactuator wordt ook gebruikt in autofocussystemen voor industriële camera's en voor nauwkeurige klepbediening in analytische instrumenten. Elke bewegingstaak met een korte slag die een submicronresolutie en stabiele positievasthoudmogelijkheden vereist, kan profiteren van deze actuator.

Veelgestelde vragen

Vraag: Hoe wordt een resolutie van 0,5um bereikt?
A: De resolutie komt voort uit de combinatie van een wrijvingsvrije spreekspoelmotor en een lineaire encoder met hoge resolutie in een gesloten servolus. De encoder meet de werkelijke belastingspositie en de soepele krachtuitvoer van de motor maakt bewegingen in één stap van 0,5 µm mogelijk.

Vraag: Welke factoren beïnvloeden de herhaalbaarheid?
A: Herhaalbaarheid hangt voornamelijk af van de kwaliteit van de encoder, servoafstemming en thermische stabiliteit. Het contactloze ontwerp elimineert wrijving en slijtage, zodat de mechanische herhaalbaarheid consistent blijft gedurende de levensduur van de motor. Regelmatige encoderkalibratie is het enige aanbevolen routineonderhoud.

Vraag: Kan de motor zijn positie behouden wanneer hij wordt aangedreven?
EEN: Ja. In een gesloten lus kan de servo de spoel op elke positie binnen de slag houden door de kracht in evenwicht te brengen met de belasting. Voor de meeste statische toepassingen is een houdrem niet vereist.

Vraag: Kan ik een aangepaste slag- of encoderoptie krijgen?
EEN: Ja. SUPT MOTION kan slag, kracht, spanning en encodertype aanpassen. Neem contact met ons op met uw nauwkeurigheidsdoel en bewegingsprofiel voor een voorstel op maat.