Hoogversnelde VCM-cilindervormige stemspiraalmotor voor manipulatie in halfgeleiders

VCM Cilindrische Voice Coil Motor Borstelloze Miniatuur Lineaire Motor Hoge Precisie en Hoge Versnelling

Productbeschrijving:

Het cilindrische ontwerp van de VCM (Voice Coil Motor) heeft een buisvormige structuur die de essentiële componenten bevat. Het bestaat uit een spoel en een permanente magneet, beide uitgelijnd langs de centrale as van de motor. De spoel is typisch gewikkeld rond een holle cilinder, terwijl de permanente magneet de spoel omringt.

In halfgeleidertoepassingen vindt de VCM cilindrische voice coil motor zijn rol in precisiepositionering en -manipulatie. Zo ontvouwt het proces zich:

1. Structuuroverzicht:
Spoel: De spoel is een essentieel onderdeel van de VCM. Hij bestaat uit meerdere wikkelingen van draad en bevindt zich meestal in de holle kern van de cilinder.
Permanente Magneet: De permanente magneet omringt de spoel. Zijn magnetisch veld interageert met de stroom die door de spoel gaat, waardoor de nodige krachten voor beweging worden gegenereerd.
Kern: Sommige ontwerpen bevatten een magnetische kern in de spoel om de sterkte van het magnetische veld te vergroten en de efficiëntie te verbeteren.
Cilinderbehuizing: De cilindrische behuizing houdt de spoel, magneet en kern op hun plaats en zorgt voor structurele integriteit.

2. Werking in halfgeleidertoepassingen:
Wafer Handling: In de halfgeleiderfabricage moeten wafers nauwkeurig worden gepositioneerd voor verschillende processen. De VCM cilindrische motor is geïntegreerd in wafer handling systemen om een nauwkeurige uitlijning te bereiken.
Uitlijning: Wanneer een wafer moet worden gepositioneerd voor een specifiek proces, stuurt een besturingssysteem een signaal naar de VCM. Er vloeit een elektrische stroom door de spoel, waardoor een magnetisch veld ontstaat. De interactie tussen dit magnetische veld en de permanente magneet resulteert in een kracht die de spoel en de bevestigde belasting (de wafer) naar de gewenste positie beweegt.
Feedbackregeling: Om de nauwkeurigheid te garanderen, wordt de beweging van de VCM bewaakt door een feedbacksysteem. Sensoren meten de positie van de motor en geven deze informatie door aan het besturingssysteem. Als er een afwijking van de doelpositie wordt gedetecteerd, past het besturingssysteem de stroom aan die door de spoel gaat om de positie te corrigeren.
Hoge Precisie: De VCM cilindrische motor biedt een hoge precisie dankzij het direct-drive mechanisme. De afwezigheid van tandwielen of riemen minimaliseert speling en mechanische speling, wat resulteert in een nauwkeurige positionering.

In halfgeleidertoepassingen zijn de precisie en responsiviteit van de VCM cilindrische voice coil motor cruciaal voor het bereiken van de strenge eisen van halfgeleiderfabricageprocessen. Het maakt de nauwkeurige manipulatie van wafers mogelijk, waardoor een consistente en hoogwaardige productie van halfgeleiderapparaten wordt gewaarborgd.

Kenmerken:

• Spanningsgestuurde Motor
• Lineaire Actuatormotor
• Lineaire Bewegingsmotor
• Gelijkspanning
• Klein Formaat
• Korte Slag
• Lange Levensduur
• Lichtgewicht

Technische Parameters:

Toepassingen:

De motor wordt voornamelijk gebruikt in medische, halfgeleider, luchtvaart,
automotive en andere gebieden, waaronder klep remmen, kleine precisie vervanging meetinstrumenten, vibratieplatform en actieve vibratie reductie systemen en vele andere aspecten.
De markt richt zich voornamelijk op de medische halfgeleider-, luchtvaart- en automatiseringsindustrie.

De VCAR Series Actuators Toepassingen omvatten klep Actuatoren, Z-as pick and place, kleine nauwkeurige positieve verplaatsing doseerpompen en zowel vibrators als actieve vibratiedempingssystemen. Markten zijn onder meer Medisch, halfgeleider, Lucht- en ruimtevaart en Automotive. Deze lineaire actuatormotor is spanningsgestuurd en levert een gelijkstroombron.