High Precision Micro Rotary Voice Coil Motor voor waferinspectie en -meting

In waferinspectie- en metrologische apparatuur is de roterende stemspiraalmotor het belangrijkste drijvende onderdeel om een nauwkeurige scanninginspectie te bereiken.Gebruik maken van de hoge bandbreedte en de hoge precisie van de directe aandrijving, kan het inspectiesondes of optische lenzen aansturen om hoogfrequente, kleine hoek rotatie scans rond het oppervlak van de wafer uit te voeren.In combinatie met algoritme optimalisatie van gespecialiseerde bewegingscontrollersHet ontwerp van de roterende stemspiraalmotor zonder mechanische transmissie elimineert terugslagfouten.effectief onderdrukt trillingsinterferentie, en zorgt voor een nauwkeurige opsporing van nanoschaaldefecten tijdens de inspectie van waferdefecten en het scannen van schakelpatronen.Het voldoet ook aan de rotatiebewegingsvereisten van platformen voor het instellen van wafers met drie vrijheidsgraden, waardoor fijne hoek aanpassingen langs de θx/θy-assen mogelijk zijn en een betrouwbare ondersteuning bieden voor de controle van de opbrengst in halfgeleiderproductieprocessen.